DAGE 4000W 晶圆处理系统

Nordson DAGE 4000W 系统使行业标准 4000 多功能焊接强度测试仪能连接行业标准晶圆处理系统。 通过该晶圆处理系统，可从暗盒中自动加载并进行凸块测试（剪切力或拉力），然后卸载 6 英寸或 8 英寸的晶圆。

Nordson DAGE 4000W 晶圆处理系统提供显著的优势：

• 无需手动处理昂贵的凸起晶圆

• 无需操作员控制加载工具以对准凸块

• 提高了凸块测试的吞吐量

主要特性

• 晶圆从暗盒到焊接强度测试仪的半自动化处理

• 半自动化凸块剪切力测试

• 测试的晶圆返回暗盒的半自动化转移

• 晶圆定位和安全连锁

• 自动进行暗盒扫描以检查晶圆位置以及是否存在任何十字形开槽的晶圆

• 自动化的凸块剪切力程序（不需要摄像系统）

• 由 240 毫米操纵杆控制的精确 XY 工作平台