株式会社 富士金FUJIKIN IGS（模组化气体供应系统）

IGS主要零部件规格说明及选型，包含IGS用气动阀、阻绝阀、逆止阀、流量调节阀。

并介绍IGS用基础组件，包含垫片、镀银螺帽/螺丝及特殊工具。

六大基本概念

①基本技术至高性能化—— * 安全&洁净之技术

②小型化—— * IGS面板体积约仅为传统面板的1/3

* 采用SEMI界面

③提升品质—— * 气密 部位采用W-seal，使得气密部位与承受外力部分分离。
* 各组件以气密部位为中心，采用水平系统的紧密施工结构。
* 镀银螺帽及螺丝采用可装100次以上的耐用性能的SUSXM7，耐蚀性。

④提升施工、维修效率—— * 所有零组件皆可从上方拆装。
* 利用特殊工具，可极大缩短施工时间。
* 每个气密部位上方都有测漏孔，可透过PINPOINT准确地检查泄漏情况。
* 通过简单的带状加热工具，即可稳定操控流体温度。
* 扣钉捕捉系统，可预防施工、维修时螺丝松脱。
* 采用付导环的垫片，便于安装，并可防止伤及垫片气密面。

⑤标准化设计—— * 利用标准化零组件阵容及少数产品种类，即可达到高度自由设计目标。

⑥降低成本—— * 通过小型化、标准化、提升施工效率等达到降低整体成本目标。