产品详情
设备名称型号 | 供气系统 GSL-1Z-LCD |
产品特点 | · 结构小巧,操作方便 · 数字式流量设定,方便快捷 · 流量显示精准,稳定可靠 |
基本参数 | · 电源:AC 220V 50HZ · 功率:20W · 流量范围:5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,5,10 SLM · 准确度:±1.5% F.S |
结构 | · 设备背面设有两个φ6.35的卡套接头,一个为进气口,一个为出气口 · 外部通气管道为1/4″的聚四氟管 · 内部通气管道为1/4″的不锈钢管 · 一个φ6.35带塑料手柄的直角针阀安装在设备前面板,控制气体的通断。 · 一个显示仪用于调节气体流量与管道的清洗。 |
显示仪 | · 型号:D08-1F · 流量显示为:9999 · 显示仪的面板上装有“阀控”开关。阀控开关有三个位置,正常工作时置于“阀控”位,需要通气清洗通道时,置于“清洗”位,不用时应置于“关闭”位。 · 设有一个流量设定旋钮,通过旋转旋钮调节进气流量的大小,如下图:气体流量为93(先读旋钮A上的十位数,再读旋钮B上的个位数)。C为机械锁(锁上后旋钮无法转动) · 当需要设定的流量为100 SCCM时,需将A、B旋钮顺时针旋转到0,即上下旋钮所对应的数字为“00”。 |
设备外形尺寸 | 360mm(L)*300mm(W)*195mm(H) |
重量 | 约6KG |
质保 | 一年质保期,终生维护 |